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产品简介
108Auto是一款结构紧凑的离子溅射镀膜仪，它可以手动或者自动操作，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和**的导电喷镀效果。
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，
通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程。
数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和**的镀膜效果。
技术参数
| 溅射系统 | |
| 样品室大小 | 直径120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75") |
| 靶材 | Au 靶为标配， Au:Pd， Pt， Pt:Pd （选件）;大小：直径57mm x 0.1mm厚 |
| 样品台 | 可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm |
| 溅射控制 | 微处理器控制，安全互锁，可调，电流10、20、30、40mA，程序化数字控制 |
| 溅射头 | 低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
| 模拟计量 | 真空： Atm - 0.001mbar |
| 厚度监控 (选件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程 |
| 控制方法 | 自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s），自动放气.整个操作亦可全手动控制。 |
| 真空系统 | |
| 真空泵 | 2级直连式高速真空泵 |
| 抽气速率 | 3.0 m3/小时 ，真空度到 0.1mb所需时间30秒. |
| 桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |
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